kSA SpectR分光反射率測定装置スペクトル絶対反射率、L＊a＊b＊成色値及び成長速度を測定するための非接触測定装置である。このツールは、垂直共振器表面発光レーザ（VCSEL）、分散型Bragg反射器（DBR）、その他の複雑な装置構造を含む、オンライン監視およびプロセス制御のさまざまな応用機能を有する。この設備は主に監視測定sputtering、MBEとMOCVDなどの薄膜生産研究に応用されている。

kSA SpectRの光学ミラー群は、鏡面反射の幾何学的形状として構成されている。k-Spaceが採用したこの測定技術は米国Sandia国立実験室に由来し、実験室の使用許可を得た。この測定原理では、フィルムが新しいlayerを成長させるたびに、プログラムは自動的にフィッティングされ、既存のすべての基板とフィルムlayerを新しい仮想基板と見なしている。MkSA SpectRは同時に複数の波長で測定することができ、各波長には潜在的な独自の利点がある。このツールは、お客様が選択した波長範囲内で、反射率の最小値、最大値、変曲点、ベースライン散乱レベルなどのカスタムスペクトル特性を簡単に測定できます。

測定例